安徽艾约塔硅油有限公司
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在硅晶板上设计渠道，然后倒入液态的二甲基硅氧烷在这些硅晶板并加热使二甲基硅氧烷变硬。当二甲基硅氧烷移除，即使是最小的微流道设计细节也会印在PDMS板上的。有了这个特殊的硅橡胶板，利用反应离子蚀刻机进行亲水性表面改质。一旦表面键结被破坏，通常是一块载玻片放在激活的一侧硅氧烷。一旦键结回到到正常状态，玻璃是永久和二甲基硅氧烷板结合，从原本硅晶板上设计渠道变成一个防水通道。有了这个技术，低价地制作微流道、微混合器、微泵浦、微阀门等元件，最小的转写几何尺寸也能达到纳米等级。
